特種氣體輸送系統應符合哪些規定

1、特種氣體系統的氣瓶柜、氣瓶架的設置應符合下列規定:

1.1、氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內置吹掃氣源等多種結構配置；

1.2、不相容氣體瓶不應放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

1.3、氣瓶柜、氣瓶架應設置作業用氣體面板；

1.4、系統的供應能力應經過熱力學和流體力學計算核實；

1.5、氣瓶柜閉門時應保持不低于100Pa負壓，柜內的排風換氣次數不得低于300次/h；

1.6、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置固定式氣體泄漏探測器；

1.7、氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應小于2.5mm，并應有防腐蝕涂層；

1.8、氣瓶柜門應具備自動關閉功能，并應配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜的固定螺栓設計應滿足當地地震設防烈度的要求；

1.9、氣瓶柜、氣瓶架應設置清晰明確的安全標識牌；

1.10、當氣瓶柜放置在有爆炸和火災危險環境時，其設計應符合現行國家標準《爆炸危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。

2、特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架的氣體面板設置應符合下列規定：

2.1、 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有緊急關斷閥門，并應為常閉氣動閥門，位置應靠近氣瓶；

2.2、氣瓶壓力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有過流開關；

2.3、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應設止回閥；

2.4、氣體面板應設置工藝氣體排氣口。

3、可燃和自燃性特種氣體的氣瓶柜應符合下列規定：

3.1、當硅烷氣瓶使用直徑0.25mm 限流孔時，氣瓶柜的排風換氣次數不得低于1200次/h，當使用直徑0.15mm限流孔時，氣瓶柜的排風換氣次數不得低于400次/h，且氣瓶柜的負壓應連續監控；

3.3、易燃性特種氣體的氣瓶柜應設置水噴淋系統；

3.4、自燃性特種氣體的氣瓶柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板。

4、大宗特種氣體系統應符合下列規定:

4.1、應設置獨立氣瓶、儲罐或長管拖車等的壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮氣單元、電氣控制柜等裝置；

4.2、大宗特種氣體系統的功能配備應符合本標準第4.2.1條的有關規定；

4.3、液態氣體瓶應設計鋼瓶加熱與保溫裝置；

4.4、減壓降溫效應顯著的氣體，應在減壓前對氣體進行預熱。

5、液態特種氣體系統的設置應符合下列規定：

5.1、 應設置獨立的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、驅動氣體單元、吹掃氮氣單元、電氣控制柜、重量計量等裝置；

5.2、液態特種氣體系統宜利用驅動氣體壓力將液態特種氣體從槽罐輸送至液態特種氣體柜，或從液態特種氣體柜直接驅動輸送至用氣工藝設備，液態特種氣體亦可采用泵送；

5.3、用氣點應設置鼓泡器或蒸發器，將液態特種氣體鼓泡或直接蒸發，以汽化形式輸送至工藝反應設備；

5.4、液態特種氣瓶柜功能設置應符合本標準第 4.2.1條的有關規定；

5.5、具有自燃性和遇水反應性的金屬有機物前驅體液體，供應柜應設置相應滅火系統 ;底部應設置收集槽，并應放置吸附材料。

6、 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統的閥門箱設置應符合下列規定：

6.1、應設置進氣管路隔離閥及壓力指示裝置；

6.2、氣體支路應設有獨立的壓力控制調節閥、過濾器；

6.3、氣體支路應設有獨立的出口隔離閥；

6.4、氣體分支路應設置獨立的吹掃氣體裝置。

7、惰性及氧化性特種氣體系統的閥門盤設置應符合下列規定：

7.1、應設有進氣管路隔離閥及壓力指示裝置；

7.2、氣體支路應設有獨立的壓力控制調節閥、過濾器；

7.3、氣體支路應設有獨立出口隔離閥門。

8、負壓氣源特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架的設置應符合負壓氣源特種氣體的特性。