1、順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

2、內向檢漏法(噴氦法)應采用管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

3、閥座檢漏法應采用閥門游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

4、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

5、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1×10-10mbar·L/s。

6、特種氣體系統氦檢漏的泄漏率應符合下列規定:

6.1內向測漏法測定的泄漏率不得大于1×10-9mbar·L/s;

6.2閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;

6.3外向測漏法測定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;

7、氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗合格后，然后按規定再進行氦檢漏。

8、所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。

9、系統測試完畢，應充人高純氮氣或氬氣，并應進行吹掃。